?? ??
HRP-260? ???? ???-?-??? ????? Profiler???. HRP? ???, ???? ???, ??? LED, ??? ???? ? ?? ?? ??? ?? ??? ?? ??? ?? ???? ??? ??? ?????. Tencor P-260 ??? ??? ?? ?? 200mm ??? ?? ?? ??, ??, ??, ??? 2D ? 3D ??? ?????. HRP-260 ??? Tencor P-260? ??? ??? ???? ?? ??? ????? ? ?? ??? ???? ?? ??? ???? ?? ???? ??? ?????.
HRP-260 ? ?? ? ???? ?? ??? ?? ??? ?????. Tencor P-260 ??? ??? ?? ?? ?? (?? 200mm) ??? ???? HRP-260? ?? 90?m ?? ??? ???? ??? ??? ?????. Tencor P-260? UltraLite? ??, ??? ?? ?? ??? ??? ?? ??? ??? ???? ??? ?? ???? ?????. HRP-260? ???? ?? ??? ??? ??? ??????. ??? ? ?? ?? ??, ?/??? ?? ? ???? ??? ???? ?? ?? ??? ???? ??? ? ????. HRP-260? ?? ??? ???? ?? ??? ???, ??? ? ??? ?? ?????? 2D ? 3D ??? ?????. ?? ??? ??, ?? ??, ??? ? ?? ??? ??? ??? ??? ?????.
??
- ?? ??: ?????? 327?m
- ??? ?? ???? ?? ?: 0.03 to 50mg
- ??? ?? ?? ?? ??
- ??: ??? ?/??? ??
- ?? ??: ?????? ?? ???? ?? ?? ??
- ?????: ???? ?? ????? ?????
- ?? ??: ???, ?? ??? SECS/GEM? ??? ???
- ??? ???: 75mm?? 200mm? ???(?. ???) ? ??(?. ????) ?? ?? ??
- HRP: AFM? ??? ???? ?? ???? ??? ??
??????
- ?? ??: 2D ? 3D ?? ??
- ???: 2D ? 3D ??? ??
- ??: 2D ? 3D ??? ??
- ??: 2D ? 3D ?? ?? ??
- ?? ??: 2D ? 3D ?? ?? ??
??
- ???
- ???? ???
- LED: ?? ????
- MEMS: ?? ?? ?? ???
- ??? ????
- ???
- ??: ????? ?? ?? ???