?? ??? ??, ??? ??, ?? ? ?? ?? ??, ?? ???? ??, ?? ??, ?? ??
_ __
_ _
_ _
_ ??? ????? ???
_??? ??? ?? 乱伦社区? ????? ???? ??, ?? ? ?? ????? ??? ???? ??? ?? ??? ????, ??? ??? ?? ?? ??? ?? ???? ?????. ?? ??? ??, ??? ? ??? ??? ???? ??? ???? ??? ?? ?? ??? ?? ?? ?? ??, ?? ?? ??, ??? ??? ??, ??? ? ?? ??, ?? ??? ?? ?? ????? ?????. ????? 乱伦社区? ??? ????? ?????? ???? EUV ????? ? ?? ??? ??? ?? ?? ??? ??? ?? ????? ??? ? ????. 乱伦社区? ??? ??, ??? ?? ? ??? ????? ???? ?? ?????? ???? ?? ??? ??? ???? ?, ???, ??? ? ??? ????? ?? ?? ??? ??? ?? ??? ?? ? ??? ?????.
_ __
_ _
_ _
_ ?? ????
__ _
_ _ _ _
Klarity?
???? ?? ? ?? ??? ??
Klarity? Defect? ???? ?? ?? ? ??? ?? ???? ??? ??? ??? ?? ??? ?? ? ??? ?? ?? ??? ??? ? ??? ?????. Klarity Defect? ?? Klarity? SSA(Spatial Signature Analysis) ?? ??? ?? ??? ???? ?? ????? ???? ???? ?????. Klarity? ACE XP? ?? ?? ?? ???? ?? ???? ?? ??? ?? ?? ? ???? ?? ??? ??, ??, ??? ? ??? ?????. Klarity ???? ???? ?? ?? ?? ??? ???? ????? ?? ??, ?? ?? ??, ?? ?? ??, SPC ?? ? ??, ?? ??? ?? ?? ??? ???? ??? ??? ?? ??? ? ????. Klarity Defect, Klarity SSA ? Klarity ACE XP? ?? ??, ??, ?? ???? ?? ?? ??? ?? ?? ??? ?? ???? ??? ?? ??? ?? ???? ?????. Klarity ???? IC, ???, ??? ??? ? HDD ????? ?? ??? ???? ?? ? ??? ???? ??? ??? ?? ?? ??? ?????.
OVALiS
??? ?? ???, ??, ???? ? ??
OVALiS ????? ???? ??? ?? ???? ??? ?? ??? ??? ????? ? ??? ??? ?????. OVALiS? ?? ??????? ???? ?? ???? ??? ??? ???? ? ?? ?? ? ?? ???? ?? ?? ??? ?????. ?????, ??, ???? ? ?? ???? ???? ? ???? ??? ??? ????? ??? ? ????. OVALIS ????? ???? ????? ?? ???? ????? ?? ??? ? ?? ?? ??? ???? ??? ??? SPC, FDC ? ?? ?? ???? ???? ??? ? ????.
??? ?? ???, ??, ?? ?????, ???? ??, ??? ?? ??, ??? ??, ??? ??
5D Analyzer?
?? ??? ?? ? ??? ??
5D Analyzer?? ?? ?? ?? ???, ?? ???? ? ??? ??? ?? ??? ???? ???? ??? ?? ?? ??????. ????, ??? ??, ??? ????, ?? ??, ??, CD ? ???? ?? ???, ?? ??, ??? ?? ?? ??? ?? ? ??? ????? ???? ?????. 5D Analyzer? ?? ???? ??, ??? ? ??? ?? ???? ??? ??? ?? ??? ?? ?? ??? ?? ?? ??? ??? ?? ??? ???? ? ??? ?? ??? ?????.
??? ?? ??, ???? ??, ??? ??, ??? ??, ?? ??, ??? ??
aiSIGHT?
?? ??? ?? ? ?? ????? ???
aiSIGHT? ????? ???? ??? SEM(??? ?? ???) ??? ??? ? ?? ??? ???? ???? ?? ? ?? ?? ??? ?????. aiSIGHT (Anchor ?? SEM ???? ??? ???? ????) ?????? ?? ????? ??? ??, ?? ? ?? ???? SEM ??? ???? ??? ?? ??? ???? ?? ????????. aiSIGHT? ??? ?? ? ????, ?? ?? ?? ??? ????, ?? ??? ??? ? ????. aiSIGHT? ?? ??? SEM ???? ??? ??? ?? ??? ?????? ??? ? ????? ?? ?? ?? ??? ? ??? ??? ??? ?? ?? ?? ??? ?? ???? ???? ?? ? ??? ?????.
aiSIGHT?? ??? ???? ????? ???? ?????. ??? ??? ???, ??, ???, ??, ?? ??, ?? ?? ?? ?? ??? ???? ???? ? ?????.
?? ?? ?? ???
?? ??? SEM ??? ?? ??? ?? ???
??? ??? ??
?? ??? SEM ??? ???? ??, ??, ??? ?? ?? ?? ??? ?? ?????
?? ?? ?? ?? ???
?? ? ?? ??? ??? ?? ?? ?? ?? ??. ??? ?? ??? ????:
- PSD: ?? ? ??? ? ???? ?? ? ?? ??
- ?? ??: ?? ??? ??? ?? ??
- ????: ??? ?? ? ?? ?? ???? ?? ??
- CD ???: ?? ?? ? ?? ???? ?? ??? ?? ?? ?? ? ?? ?? ??
- EPE: ???? ?? ?? ?? ??
- ?…
aiSIGHT ????
??? ?? ???? ?? ??? ?? ?? ??? ???? ????? ??? ??? ?? ??
?? ??, ???? ??, ?? ??, ?? ??, ?? ????, ?? ??, ?? ????
Anchor Pattern Centric Yield Manager
???? ?? ?? ? ?? ??? ?? ???
Anchor Pattern Centric Machine Learning
???? ?? ?? ? ?? ?? ??
Klarity?
???? ?? ? ?? ??? ??
eDR7380?
??? ?? ? ?? ???
eSL10?
??? ?? ??? ?? ???
Anchor Pattern Centric Yield Manager
???? ?? ?? ? ?? ?? ??
Anchor Pattern Centric Yield Manager? Design Decomposition Database?? ???? ??? ????, ??? ?? ??? ???? ?? ??? ?? ?? ??? ?????. Design Decomposition Database? ??? OPC ?????, ?? ?? ???? ??(?? ????), SEM ????? ??? ?? ??? ??? ?? ??? ?? ?? ?? ?? ??? ?? ?? ??? ???? ??? ?????. ?? ??? ??? ????(?? ??? ????) Anchor Pattern Centric Yield Manager? ??? ?????.
- ? ??? ?? ?? ?? ??? ???? ?? ??? ?? ?? ?? ?? ??? ?????.
- ?? ?? ??? ???? ?? ??? ??? ??? ?? ??? ?????.
- ?? ? ??? ?? ?? ??? ?????.
- SEM ??? ?? ??? ?? ?? ??? ?????.
- OPC/????? ?? ?? ?? ???? ?????.
?? ??, ?? ??, ?? ??, ?? ????
Anchor Pattern Centric Machine Learning
???? ?? ?? ? ?? ?? ??
Anchor Pattern Centric Machine Learning? ?? ?? ??????? Design Decomposition Database?? ???? ?? ?? ??? ?????? ? ??? ? ?? ?? ?? ??? ?????? ?? ?? ? ?? ???? ?? ??? ??? ??? ?????. Anchor Pattern Centric Machine Learning:
- Printed Pattern Database? ??? ???? ?? ?? ??? ?????.
- ?? ? ? Design Decomposition Database? ??? ?? ?? ??? ?? ?? ?? ??? ?????.
- ??? ???? ????? ???? ??? SEM ???? Printed Pattern Database? ?????.
- ???? ???? ?? ???? ??? ???? ? ???? ?????.
?? ??, ?? ??, ?? ??, ?? ????
SPOT?
??? ?? ?? ? ?? ??? ?? ???? ?? ??
SPOT?(Sample Plan Optimization Toolkit)? ??? ? ?? ???? ???? ?? ?? ?? ??????. ??? ?? ??? ?? ?? ??? ?? ????? ??? ???? ??? ?? ??(DOI)? ?? ??? ????. ?? ? ?? ???? ?? ?? ?? ??? ???? ???? ?? ??? ??? ?????? ????? ???? ?? ?? ??? ?? ? ???? ???? ??? ?????. ???? ?? ?? ?? ??? ???? ???? ? ?? DOI? ???? ??? ?? ??? ?? ?? ??? ????? ??? ? ????.
?? ?? ???, I-PAT? ??? ?? ?? ??, ?? ??, ?? ?? ?? ???, ?? ?? ??, ?? ??? ??
I-PAT?
??? ?? ?? ??
I-PAT(??? ?? ?? ?? ???)? ??? ????? ??? ?? ??? ???? ??? ?? ???? ???, ????? ??? ??? ??? ?? ??? ????, ??? ???? ??? ??? ??? ?? ???? ??? ?????. I-PAT? 乱伦社区 ?? ? ??? ?? ????? ?????. ?? 8 Series ??? ?? Puma? ??? ??? ???? ?? ?? ??? ?? ???? ?? ??? ????? ?? ??? ???? ??? ?????. ?? ?? I-PAT? SPOT? ?? ???? ??? ?? ?? ????? Klarity? ?? ?? ???? ?? ?? ??? ???? ?? ???? ????, ?? ?? ??? ??? ?? ????? ??? ? ????. I-PAT? ?? ?? ?? ???? ?? ???? ?? ??? ???? ??? ??? ? ????? ?? ???? ??? ??? ? ??? ?????.
??? ?? ?? ??, EOL(End-of-Line) ?? ??? ??? ?? ???? ??
RDC
??? ??? ?? ? ??
RDC (Reticle Decision Center)? ???? ??? ?? ? ?? ???? ??? ??? IC ??? ?? ???? ??? ??? ?? ??? 乱伦社区 ??? ??? ?? ???? ?????. RDC? ??? ?? ??? ?? KlearView?, Automated Defect Classifcation, Lithography Plane Review, Defect Progression Monitor, Aerial Image Analyzer ?? ???? ???? ???? ?????(?? ?? ? ??). ??? RDC ?? ??? ???? ?? ?? ??? ???, ?? ??? ????, ??? ??? ? ? ?? ??? ?? ??? ??? ????. RDC? ?? ?? ????? ???? ? ??? ?? ??? ???? ??? ?? ??? ???? ?? ??? ?? ??? ??? ???.
RDC?? ???? ??? ??? ?? ? ??? ??? ?? ??? ??? ???? ??? ?? ???? ???? ???? ????.
KlearView?
?? ??, ?? ? ?? ???? ??? ??? ??? ?????.
Automatic Defect Classification (ADC)
??? ???? ??? ??? ???? ?????.
Lithography Plane Review (LPR)
??? ???? ??? ??? ??? ?? ???? ????????. ???
Defect Progression Monitor (DPM)
??? ???? ???? ??? ??? ?? ?? ??? ?????.
Aerial Image Analyzer (AIA)
??? ?? ??? ?? ???? ??? ?? ??? ?? ??? ?????.
SEM-to-Aerial(S2A)
???? ?? SEM ???? ???? EUV ???? ?? ?? ??? ??? ???? ?? ??? ?????.
S2A-3D
???? ?? AFM ???? ???? EUV ???? ?? ?? ?? ?? ?? ?? ???? ???? ?? ??? ?????.
Device Metrology Mode (DMM)
?? LMS IPRO ?? ??? ?? EUV ??? ?? ??? ?? ?? ?? ? ??? ?? ??? ?? ??? ?????.
Reference Pattern Generator (RPG)
?? ?? ??? ??? ?? ???? ??? ? ??? ??? ??? ???? ??????.
Reference Pattern Search (RPS)
?? ?? ?? ??????? ???? ?? ??? ?? ???? ??? ?? ??? ?? ??? ????.
Inspection Source Optimizer (ISO)
EUV ??? ???? ?? ??? ?? ??? ?? 193nm ?? ?? ??? ??????.
? ?? ??, ??? ?? ??, ??? ?? ?? ??? ??, ??? ?? ? ??, ??? ???? ???
PROLITH?
?? ?? ???
PROLITH? ????? ? ??? ????? ???? ???? ??? ???? ??? ???? ???? ??? ???? ????????. PROLITH? IC, LED ? MEMS ????, ??? ??, ?? ??, ??? ????, ?? ???? ? ?? ?????? EUV ????? ? ?? ??? ??? ??? ??? ??? ?? ????? ???? ? ?????. ?? ??? ??? ?? ??? ??? ??? PROLITH? ????? ????? ?? ????? ??? ?? ??? ??? ??? ???? ??? ?? ??? ???? ???? ? ??? ??? ??? ??? ? ??? ?????.
?? ???? ??? ?????, ??? ?? ???
PROLITH? 2024a
PROLITH 2024a ???? ? ???? ???? ??? Windows ??? ??? ????? ????????. PROLITH 2024a ? ????? ??? ???? ?? ??? ??, ??? ??, ??? ??? ? SEM ??? ???? ?????. ? ??? Tatian ??? ?? Zernike ??? ???? ?? NA EUV ?? ??? ????, ???? EUV ????? ???? ?????. ?? PROLITH 2024a ? ?? ?? ??? ????? ??? ??? ?? ???, i-?? ?? KrF ??? ??? ?? ???? ??? ???? ?????? ?? ?? ??? ?? ????? ?????.
ProDATA?
?? ??? ??
ProDATA? V2.1 ?? ??? ?? ?????? ??? ?? ??? ????? ??? ?? ? ????? ?? ????? ??? ?? ??? ?????. ? ??? ?????? ?? ??(CD) ??, ???, ?? ??, ? ??, ?? ??? ??? ?? ???? ??? ???? ???? ???? ??? ?? ??? ???? ?? ? ??? ?????.
??? ??, ????? ?? ???, ??? ?? ? ??, ????? ?? ???? ??? ??, ??? ?? ??
FabVision?
??? ??? ?? ??? ??
FabVision?2? ??? ? ?? ????? ?? ???? ???? ???? ? ??? ?? ????? ??????. FabVision2? ?? ??, ?? ? ?? ??? ????? ?????? ???? ??? ??? ?? ?? ?? ??? ???? ??? ???? ???? ???? ? ????? ??? ? ????? ??? ? ??? ????. ?? ??????? ???? ????? ?????? ?? ?? ?? ? ?? ??? ???? ???? ??? ? ????. FabVision2? ?? ?? ? ?? ???? ??? ??? ??? ???? ???? ???, ?????, ?? ?? ??? ??? ??? ??? ?????? ??? ?? ??? ????? ?? ??? ???? ? ????. FabVision2XP? ??? ???? ?? ? ???? ??? ?????.
?? ??, ?? ? ?? ??? ??, ??? ?? ?? ????, ?? ??? ?? ??, ?? ??? ??, ??? ??? ??.
FabVision?
FabVision? ??? ? ?? ????? ?? ??? ??? ??? ???? ??? ?? ????? ??????.
Are you sure?
You've selected to view this site translated by Google Translate.
乱伦社区 China has the same content with improved translations.
Would you like to visit 乱伦社区 China instead?
您已选择查看由骋辞辞驳濒别翻译翻译的此网站。
碍尝础中国的内容与英文网站相同并改进了翻译。
你想访问碍尝础中国吗？
乱伦社区 ??? ?? My Access? 乱伦社区 ????? ?? ?????.